진공 게이트 밸브는 진공 또는 음압 시스템에 특별히 사용되는 특수 게이트 밸브입니다. 핵심 설계는 초고 밀봉 및 낮은 아웃가스 속도를 중심으로 진행됩니다. 작업 원칙과 특성은 다음과 같습니다.
1. 핵심 정의
기능적 포지셔닝
진공도 가스가 진공 공동을 깎아 내고 오염되는 것을 방지하기 위해 진공 정도가 1 × 10 ° Pa보다 낮거나 같은 매우 높은 깨끗한 환경에서 사용됩니다.
SEILING 표준
누출 속도는 일반 산업 밸브보다 훨씬 높은 1 × 10 ¹⁰ pa · m³/s (헬륨 누출 감지 표준)보다 작거나 동일하게 제어됩니다.
2. 주요 구조적 특성
sealing 시스템
모든 금속 벨로우즈 다이나믹 씰 (전통적인 스터핑 박스 교체)을 채택하여 밸브 스템 움직임으로 인한 마이크로 누출을 제거하십시오.
게이트와 밸브 시트 사이의 접촉 표면은 거울을 연마하고 (0.2μm 이상 또는 동일), 골드-코퍼 합금 밀봉 고리는 분자 수준 결합을 달성하는 데 사용됩니다.
wectionmationmationmational 셀렉션 ial
밸브 본체는 316L 초소형 탄소 스테인리스 스틸로 만들어졌으며, 전해질 연마 (가스 흡착 감소)에 의해 표면적이 감소합니다.
벨로우즈는 Hastelloy C-276으로 만들어졌으며 100,000 진공 증권 압력 교대 하중보다 더 크거나 같은 견딜 수 있습니다.
special 디자인 ial
밸브 캐비티에는 보조 배기 포트 (KF16 플랜지 인터페이스)가 장착되어있어 열고 닫히기 전에 압력 차이를 사전에 사전으로 공급하고 균형을 잡을 수 있습니다.
저온 유형에는 액체 질소 냉각 재킷이 장착되어있어 고온이 밀봉 재료가 수축되는 것을 방지합니다.
3. 작업 모드
Openging 프로세스
먼저 보조 진공 펌프를 시작하여 밸브 캐비티를 시스템과 동일한 수준의 진공으로 대피하십시오 (공기 흐름 교란을 방지하기 위해).
벨로우즈는 게이트를 수직으로 상승하게하고 흐름 채널이 완전히 열릴 때 유량 전도도 계수는 0.95보다 크거나 동일합니다.
process
게이트가 떨어지면 한계 스위치가 자동으로 트리거되고 보조 배기가 발생하여 밸브 캐비티의 잔류 가스가 배출되도록합니다.
접촉 밀봉 표면은 시스템의 음압 하에서 자체 조건 효과를 생성합니다. 압력 차이가 클수록 씰이 더 단단합니다.
4. 일반적인 응용 프로그램 시나리오
scientific 연구 장비
입자 가속기 진공 빔 파이프 라인 (예 : 유럽 핵 연구 LHC)의 분리 된 분리. 싱크로트론 방사선 소스를위한 Undulator 진공 보호 밸브.
산업화 장비
반도체 ALD 코팅 기계에 대한 반응 챔버 주사 제어.
우주선 열 진공 테스트 챔버를위한 비상 격리 밸브.
special fieldial
핵 융합 장치의 제 1 벽 냉각 시스템의 진공 분리 (예 : ITER).
음력 먼지 시뮬레이션 챔버의 샘플 전송 채널 밀봉.
5. 성능 지표
온도 범위 : -196도 (액체 질소 냉각)에서 450도 (고온 베이킹 유형).
Diameter 범위 eter : DN10 마이크로 밸브 대 DN800 큰 진공 잠금 챔버.
Operation 모드 : 수동 웜 기어 드라이브, 공압 빠른 오프닝 (응답 시간<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. 유지 보수 지점
헬륨 질량 분석법 누출 감지는 1000 개의 작업마다 필요하며, 누출 속도가 표준을 초과하면 벨로우즈 어셈블리를 교체해야합니다.
접촉 밀봉 표면은 표면 마감을 복원하기 위해 5 년마다 다시 콜링해야합니다.
세척을 위해 아세톤 및 기타 유기 물질을 사용하는 것은 금지되어 있습니다. 플라즈마 드라이 클리닝이 권장됩니다.