진공 밸브는 정밀 밀봉 및 구동 제어를 통해 진공 환경에서 유체 조절을위한 핵심 장치입니다. 작업 메커니즘은 다음 코어 모듈로 나눌 수 있습니다.
1. 핵심 작업 메커니즘
SEILING 파티션 part
모든 금속 벨로우즈 다이나믹 씰 (전통적인 포장 대신)을 채택하는 밸브 스템이 진공 챔버의 밀폐성을 유지하기 위해 움직일 때 벨로우즈는 확장되고 수축되며 누출 속도는 1 × 10 ¹⁰ pa · m³/s보다 작거나 동일합니다.
게이트가 닫히면 미러 폴란드 밸브 시트 (0.2μm 이하 또는 동일)와 분자 맞춤을 형성하고, 접촉 밀봉 효과를 향상시키기 위해 구리 합금 밀봉 링과 협력합니다.
drive drive control
MANUAL TYPES : 벌레 기어 변속기, 벨로우즈는 핸드 휠을 회전시켜 위아래로 구동되며 토크는 15N · M4보다 작거나 동일합니다.
전기 타입 : 스테퍼 모터 드라이브, 5.01mm의 위치 정확도, 반도체 웨이퍼 전송 시스템에 적합합니다.
propneumatic typene : 압축 공기는 실린더 피스톤을 구동하며 응답 시간은 다음과 같습니다.<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
균형 균형
밸브 본체에는 KF16 보조 공기 추출 포트가 장착되어 있습니다. 개방 및 닫기 전에 독립적 인 진공 펌프는 공기 흐름 교란을 방지하기 위해 밸브 캐비티와 시스템 (ΔP ＜ 10PA) 사이의 압력 차이의 균형을 맞추기 위해 사용됩니다.
2. 일반적인 작업 모드
| 방법 | 작동 과정 | 애플리케이션 |
|---|---|---|
| 동봉 된 | 게이트는 밸브 시트를 완전히 눌러 이중 씰을 형성합니다 (벨로우즈 + 접촉 표면) | 입자 가속기 빔 튜브 분리 |
| 흐름 조절 | 밸브 플레이트 개구부는 10%-90%로 제어되며 V 자형 스로틀 링 그루브를 통해 선형 흐름 제어가 달성됩니다. | 진공 코팅 공정을위한 가스 주입 |
| 빠른 컷 | 공압 액추에이터 트리거 비상 종료 절차, 응답 시간은 0.3s보다 작거나 동일합니다. | 핵 융합 장치 누출 비상 |
| 압력 유지 보수 | 진공 게이지와 연결된 밸브 개구부는 자동으로 미세 조정되어 세트 진공 정도 (± 0.5PA)를 유지합니다. | 우주 환경 시뮬레이션 챔버 |
3. 재료 및 공정 특성
Valve Body : 316L 초 저장 탄소 스테인리스 철 전해법, 가스 흡착 표면적 감소 60% 이상
SEALICE 성분 ealing : Hastelloy C-276 벨로우즈 (100,000 피로 사이클에 내성) + 산소가없는 구리 밀봉 링 (Vickers Hearthness HV80)
Surface 처리 face : 밀봉 표면 이온 스퍼터링 티타늄 도금 (두께 2μm), 마찰 계수는 0.08로 감소했습니다.
4. 응용 시나리오 비교
| 필드 | 밸브 유형 | 진공 요구 사항 | 특별한 필요 |
|---|---|---|---|
| 반도체 제조 | 전기 고 진공 진공 밸브 | 1 × 10 ° PA보다 작거나 동일합니다 | 150도 베이킹에 내성, 제로 입자 방출 |
| 우주선 테스트 | 공압 빠른 닫기 밸브 | 1 × 10 ° PA보다 작거나 동일합니다 | 진동 저항 (20-2000Hz) |
| 싱크로트론 방사선 소스 | 액체 냉각 게이트 밸브 | 1 × 10 ° PA보다 작거나 동일합니다 | 액체 질소 냉각 재킷 (-196도) |
| 핵 융합 장치 | 방사선 저항성 분리 밸브 | 1 × 10 ° PA보다 작거나 동일합니다 | 중성자 조사 저항 (10¹⁹ N/cm²) |
5. 성능 제한 매개 변수
온도 범위 : -269도 (액체 헬륨 냉각 유형)에서 450도 (고온 합금 유형)
직경 범위 : 마이크로 밸브 φ6mm 대형 진공 챔버 밸브 φ1200mm
생명 지수 : 벨로우즈 씰 어셈블리가 50,000 개 개방 및 마감주기보다 동일합니다.